Actuator element and method for producing actuator element

WO2011013256 Art A1 3. Februar 2011

Anmelder: Tokyo Electron Limited, University of Yamanashi 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011013256
Aktenzeichen: EP09847847
Anmeldetag: 28. August 2009
Veröffentlichung: 3. Februar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H02N11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
University of Yamanashi
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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