Extreme ultraviolet light source, method for controlling extreme ultraviolet light source, and recording medium in which program therefor is recorded

WO2011013779 Art A1 3. Februar 2011

Anmelder: Komatsu Ltd., Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011013779
Aktenzeichen: EP10804525
Anmeldetag: 29. Juli 2010
Veröffentlichung: 3. Februar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Komatsu Ltd.
Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Komatsu

Komatsu ist ein japanischer Hersteller von Baumaschinen, Bergbaugeräten und Industrieausrüstung mit Sitz in Tokio.

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🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

Vertreten von