Method for manufacturing piezoelectric element

WO2011016381 Art A1 10. Februar 2011

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011016381
Aktenzeichen: EP10806380
Anmeldetag: 29. Juli 2010
Veröffentlichung: 10. Februar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L41/22H01L41/09H01L41/187H02N2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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