Process for production of semiconductor device, and apparatus for production of semiconductor device

WO2011016512 Art A1 10. Februar 2011

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011016512
Aktenzeichen: EP10806511
Anmeldetag: 5. August 2010
Veröffentlichung: 10. Februar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/768C23C16/02C23C16/08H01L21/28H01L21/285H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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