Apparatus for vhf impedance match tuning

WO2011016979 Art A2 10. Februar 2011

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011016979
Aktenzeichen
EP10806822
Anmeldetag
19. Juli 2010
Veröffentlichung
10. Februar 2011
Rechtsraum
WO
IPC
H05H1/46H03H7/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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