Methods and apparatus for high-throughput formation of nano-scale arrays

WO2011017487 Art A2 10. Februar 2011

Anmelder: Cornell University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011017487
Aktenzeichen: EP10807134
Anmeldetag: 5. August 2010
Veröffentlichung: 10. Februar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cornell University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cornell University

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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