Magnetron device and method for the uniform erosion of a target using such a device

WO2011018544 Art A2 17. Februar 2011

Anmelder: Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC) 🇪🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011018544
Aktenzeichen: EP10808012
Anmeldetag: 12. August 2010
Veröffentlichung: 17. Februar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/34C23C14/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Land: 🇪🇸 Spanien

🇪🇸 Consejo Superior de Investigaciones Científicas

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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