Spectral purity filter, lithographic apparatus, and method for manufacturing a spectral purity filter

WO2011020654 Art A1 24. Februar 2011

Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011020654
Aktenzeichen: EP10730493
Anmeldetag: 14. Juli 2010
Veröffentlichung: 24. Februar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B5/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands BV
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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