Stabilizers for vinyl ether resist formulations for imprint lithography

WO2011020675 Art A1 24. Februar 2011

Anmelder: International Business Machines Corporation, JSR Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011020675
Aktenzeichen: EP10742785
Anmeldetag: 23. Juli 2010
Veröffentlichung: 24. Februar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F7/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: International Business Machines Corporation
JSR Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

9.753 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

1.781 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von