Sugar derivative having a polymerizable group, and resist material using said sugar derivative

WO2011021398 Art A1 24. Februar 2011

Anmelder: Idemitsu Kosan Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011021398
Aktenzeichen: EP10809744
Anmeldetag: 20. August 2010
Veröffentlichung: 24. Februar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C08F20/28C07H9/04C07H13/06C08G65/08C08G65/18G03F7/027G03F7/038G03F7/039G03F7/11H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Idemitsu Kosan Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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