Carrier device, arrangement comprising such a carrier device, and method for patterning a layer stack comprising at least one ceramic layer
WO2011023556
Art A1
3. März 2011
Anmelder: Epcos AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011023556
- Aktenzeichen
- EP10742495
- Anmeldetag
- 11. August 2010
- Veröffentlichung
- 3. März 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/48H01L23/15H01L23/498
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Epcos AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
EPCOS
Deutscher Hersteller elektronischer Bauelemente wie Kondensatoren und Sensoren mit Sitz in München, seit 2009 Teil des japanischen TDK-Konzerns.
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