Wiring layer, semiconductor device, liquid crystal display device
WO2011024704
Art A1
3. März 2011
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011024704
- Aktenzeichen
- EP10811754
- Anmeldetag
- 19. August 2010
- Veröffentlichung
- 3. März 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L29/786C22C9/01G02F1/1343G02F1/1368H01B5/14H01L21/28H01L21/3205H01L23/52H01L29/423H01L29/49
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Vertreten von
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