A multi-peripheral ring arrangement for performing plasma confinement

WO2011026126 Art A2 3. März 2011

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011026126
Aktenzeichen: EP10812768
Anmeldetag: 31. August 2010
Veröffentlichung: 3. März 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46H01L21/3065C23C16/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von