Method for forming metal oxide film, metal oxide film and apparatus for forming metal oxide film
WO2011027425
Art A1
10. März 2011
Anmelder: Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation, Kyoto University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011027425
- Aktenzeichen
- EP09848956
- Anmeldetag
- 2. September 2009
- Veröffentlichung
- 10. März 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C18/12B05D3/02H01L21/288
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Kyoto University - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.
556 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Kyoto University
Renommierte japanische Universität mit breiter Grundlagenforschung in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.
1.706 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.