Method and apparatus for manufacturing a thin-film solar battery

WO2011027533 Art A1 10. März 2011

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011027533
Aktenzeichen: EP10813485
Anmeldetag: 30. August 2010
Veröffentlichung: 10. März 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/04B23K26/00B23K26/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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