Substrate transfer apparatus and substrate transfer method

WO2011027546 Art A1 10. März 2011

Anmelder: Murata Machinery, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011027546
Aktenzeichen: EP10813497
Anmeldetag: 1. September 2010
Veröffentlichung: 10. März 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B65G49/07B25J15/06B65H3/14H01L21/677H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Murata Machinery, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Murata Machinery

Japanischer Maschinenbauer (Marke Muratec) mit Schwerpunkt auf Textilmaschinen, Logistiksystemen und Werkzeugmaschinen, nicht zu verwechseln mit Murata Manufacturing.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von