Method for manufacturing half-tone mask, and half-tone mask
WO2011027647
Art A1
10. März 2011
Anmelder: Sharp Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011027647
- Aktenzeichen
- EP10813598
- Anmeldetag
- 5. August 2010
- Veröffentlichung
- 10. März 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F1/08H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Sharp Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sharp
Japanischer Elektronikkonzern mit Sitz in Sakai bei Osaka, seit 2016 mehrheitlich zu Foxconn gehörend. Aktiv in Displaytechnik (LCD, OLED), Unterhaltungselektronik, Haushaltsgeräten sowie Halbleiter- und Solartechnologie.
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Vertreten von
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