System and method for generating a beam of particles

WO2011030326 Art A1 17. März 2011

Anmelder: Ramot at Tel-Aviv University Ltd. 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011030326
Aktenzeichen: EP10815068
Anmeldetag: 30. Juni 2010
Veröffentlichung: 17. März 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L39/24B22F9/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ramot at Tel-Aviv University Ltd.
Land: 🇮🇱 Israel

🇮🇱 Ramot at Tel Aviv University

Ramot at Tel Aviv University ist die Technologietransfergesellschaft der israelischen Universität Tel Aviv, die Forschungsergebnisse der Universität patentiert und kommerzialisiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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