Inner circumference edge blade dressing method

WO2011030505 Art A1 17. März 2011

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011030505
Aktenzeichen
EP10815106
Anmeldetag
11. August 2010
Veröffentlichung
17. März 2011
Rechtsraum
WO
IPC
B24B53/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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