Valve for vacuum application
WO2011030565
Art A1
17. März 2011
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011030565
- Aktenzeichen
- EP10815165
- Anmeldetag
- 13. September 2010
- Veröffentlichung
- 17. März 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F16K51/02F16K27/02F16K43/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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