Radiation-sensitive composition and novel compound

WO2011030737 Art A1 17. März 2011

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011030737
Aktenzeichen: EP10815334
Anmeldetag: 6. September 2010
Veröffentlichung: 17. März 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C07C309/17C07C381/12C08F12/02C08F20/10C08F20/28C08F20/54C09K3/00G03F7/004G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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