Device for measuring mean free path, vacuum gauge, and method for measuring mean free path

WO2011033933 Art A1 24. März 2011

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011033933
Aktenzeichen: EP10817046
Anmeldetag: 1. September 2010
Veröffentlichung: 24. März 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G01L21/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Anelva Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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