Electron source, method for producing electron source, and electron emission method

WO2011033989 Art A1 24. März 2011

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011033989
Aktenzeichen: EP10817102
Anmeldetag: 9. September 2010
Veröffentlichung: 24. März 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01J1/304H01J9/02H01J37/073

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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