Electron gun and vacuum processing device

WO2011034086 Art A1 24. März 2011

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011034086
Aktenzeichen: EP10817199
Anmeldetag: 15. September 2010
Veröffentlichung: 24. März 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/063C23C14/30H01J29/48H01J37/065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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