Oligomethylphosphine compound for amorphous semiconductor film and film deposition gas containing same

WO2011036957 Art A1 31. März 2011

Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011036957
Aktenzeichen: EP10818633
Anmeldetag: 9. August 2010
Veröffentlichung: 31. März 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C07F9/50H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Central Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Organische Chemie

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