Process for production of carbon nanotube film
WO2011036973
Art A1
31. März 2011
Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011036973
- Aktenzeichen
- EP10818649
- Anmeldetag
- 25. August 2010
- Veröffentlichung
- 31. März 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C01B31/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokyo Electron Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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