Photoresist stripper composition and photoresist peeling method employing same

WO2011037300 Art A1 31. März 2011

Anmelder: LG Chem, Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011037300
Aktenzeichen
EP09849874
Anmeldetag
26. November 2009
Veröffentlichung
31. März 2011
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/42H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LG Chem, Ltd.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 LG Chem

Südkoreanisches Chemieunternehmen, das Batteriematerialien, Kunststoffe, petrochemische Produkte und pharmazeutische Wirkstoffe herstellt.

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