Pattern forming method
WO2011039847
Art A1
7. April 2011
Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011039847
- Aktenzeichen
- EP09850038
- Anmeldetag
- 29. September 2009
- Veröffentlichung
- 7. April 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/30G03F7/004G03F7/38
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kabushiki Kaisha Toshiba
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba
Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.
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