Positioning pin compatible with deformation caused by difference in coefficient of thermal expansion

WO2011039881 Art A1 7. April 2011

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011039881
Aktenzeichen: EP09850072
Anmeldetag: 1. Oktober 2009
Veröffentlichung: 7. April 2011
Rechtsraum: WO
IPC: F16B19/02H01L21/3065H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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