Cryopump
WO2011040002
Art A1
7. April 2011
Anmelder: Ulvac Cryogenics Inc., Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011040002
- Aktenzeichen
- EP10820124
- Anmeldetag
- 28. September 2010
- Veröffentlichung
- 7. April 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F04B37/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ulvac Cryogenics Inc.
Ulvac, Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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