Actuator element and sheet-like actuator

WO2011043223 Art A1 14. April 2011

Anmelder: Tokyo Electron Limited, University of Yamanashi 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011043223
Aktenzeichen: EP10821894
Anmeldetag: 28. September 2010
Veröffentlichung: 14. April 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H02N11/00H02N2/00H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
University of Yamanashi
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von