Pressure sensor element and sheet-like pressure sensor

WO2011043224 Art A1 14. April 2011

Anmelder: Tokyo Electron Limited, University of Yamanashi 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011043224
Aktenzeichen: EP10821895
Anmeldetag: 28. September 2010
Veröffentlichung: 14. April 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G01L5/00G01L1/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
University of Yamanashi
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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