Filament for electron gun and method for producing same

WO2011043353 Art A1 14. April 2011

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011043353
Aktenzeichen: EP10822023
Anmeldetag: 5. Oktober 2010
Veröffentlichung: 14. April 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01J9/04C23C14/30H01J1/15H01J37/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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