Thin film, method for forming same, and semiconductor light-emitting element comprising the thin film
Anmelder: Tohoku University, Rohm Co., Ltd., Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011043414
- Aktenzeichen
- EP10822084
- Anmeldetag
- 7. Oktober 2010
- Veröffentlichung
- 14. April 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/40C23C16/511H01L21/365H01L33/42
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Tohoku University
Rohm Co., Ltd.
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇯🇵 Japan
Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.
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Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kyoto, spezialisiert auf integrierte Schaltkreise, diskrete Halbleiterbauelemente und Leistungshalbleiter (unter anderem Siliziumkarbid-Bauteile).
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Vertreten von
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