Method and installation for producing a semiconductor device, and semiconductor device

WO2011045398 Art A1 21. April 2011

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011045398
Aktenzeichen
EP10765448
Anmeldetag
14. Oktober 2010
Veröffentlichung
21. April 2011
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/45H01L29/49H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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