System for and method of cleaning of copper wire using plasma, activated or reduced gas atmosphere

WO2011045667 Art A1 21. April 2011

Anmelder: Linde AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011045667
Aktenzeichen: EP10776419
Anmeldetag: 14. Oktober 2010
Veröffentlichung: 21. April 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B23K20/00H01L21/00H01L21/60B23K20/24B08B7/00C23F4/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Linde AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Linde

Deutscher Industriegasekonzern mit Wurzeln in München, gegründet 1879. Entwickelt und liefert technische Gase sowie Anlagen zur Gasverarbeitung für Industrie, Medizin und Energiewirtschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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