Material storage and dispensing system and method with degassing assembly

WO2011046802 Art A2 21. April 2011

Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011046802
Aktenzeichen: EP10823856
Anmeldetag: 7. Oktober 2010
Veröffentlichung: 21. April 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B01D19/00B65D85/84B65D83/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Advanced Technology Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

458 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik Verpackungs- & Fördertechnik

Vertreten von