Methods and apparatus for calculating electromagnetic scattering properties of a structure using a normal-vector field and for reconstruction of approximate structures

WO2011048008 Art A1 28. April 2011

Anmelder: ASML Netherlands BV, Dirks, Remco 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011048008
Aktenzeichen: EP10765632
Anmeldetag: 14. Oktober 2010
Veröffentlichung: 28. April 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands BV
Dirks, Remco
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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