Oligomethyl germane compound for amorphous semiconductor film, and film formation gas using same

WO2011048866 Art A1 28. April 2011

Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011048866
Aktenzeichen: EP10824718
Anmeldetag: 10. August 2010
Veröffentlichung: 28. April 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/04C23C16/42H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Central Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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