Radiation-sensitive resin composition and novel compound

WO2011048919 Art A1 28. April 2011

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011048919
Aktenzeichen: EP10824768
Anmeldetag: 29. September 2010
Veröffentlichung: 28. April 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C08K5/36C07C309/06C07C381/12C08K5/42C09K3/00G03F7/004G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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