Treatment solution for preventing pattern collapse in metal fine structure body, and process for production of metal fine structure body using same

WO2011049091 Art A1 28. April 2011

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011049091
Aktenzeichen: EP10824940
Anmeldetag: 19. Oktober 2010
Veröffentlichung: 28. April 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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