Method for fabricating fine conductive patterns using a surface-modified mask template

WO2011049283 Art A1 28. April 2011

Anmelder: Korea Institute Of Machinery & Materials 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011049283
Aktenzeichen: EP10825108
Anmeldetag: 8. Juni 2010
Veröffentlichung: 28. April 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Institute Of Machinery & Materials
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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