Microelectronic processing component having a corrosion-resistant layer, microelectronic workpiece processing apparatus incorporating same, and method of forming an article having the corrosion-resistant layer

WO2011049938 Art A2 28. April 2011

Anmelder: Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011049938
Aktenzeichen: EP10825515
Anmeldetag: 19. Oktober 2010
Veröffentlichung: 28. April 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Saint-Gobain Ceramics & Plastics

Saint-Gobain Ceramics & Plastics ist die US-amerikanische Gesellschaft des französischen Baustoff- und Werkstoffkonzerns Saint-Gobain für Keramik- und Kunststoffprodukte. Das Patentportfolio verteilt sich breit auf anorganische Chemie und Werkstoffe, Klebstoffe sowie Halbleiter- und Fertigungstechnik. Anmeldungen laufen durchgehend seit 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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