Verfahren zur Herstellung von Halbleiterschichten
WO2011051052
Art A1
5. Mai 2011
Anmelder: Schüco TF GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011051052
- Aktenzeichen
- EP10759849
- Anmeldetag
- 17. September 2010
- Veröffentlichung
- 5. Mai 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Schüco TF GmbH & Co. KG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Gröger, Stephan
München, Deutschland
7
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte