Catadioptric projection objective comprising a reflective optical component and a measuring device

WO2011051069 Art A1 5. Mai 2011

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011051069
Aktenzeichen: EP10763352
Anmeldetag: 28. September 2010
Veröffentlichung: 5. Mai 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G02B17/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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