Scanning charged particle beam device and method for correcting chromatic spherical combination aberration

WO2011052333 Art A1 5. Mai 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011052333
Aktenzeichen: EP10826467
Anmeldetag: 29. September 2010
Veröffentlichung: 5. Mai 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/153H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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