Wiring layer, semiconductor device, and liquid crystal display device using semiconductor device

WO2011052471 Art A1 5. Mai 2011

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011052471
Aktenzeichen: EP10826603
Anmeldetag: 21. Oktober 2010
Veröffentlichung: 5. Mai 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3205G02F1/1343G02F1/1368H01L21/28H01L23/52H01L29/417H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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