Water-reactive al composite material, water-reactive al film, process for producing the al film, and constituent member for film-deposition chamber
WO2011052640
Art A1
5. Mai 2011
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011052640
- Aktenzeichen
- EP10826772
- Anmeldetag
- 27. Oktober 2010
- Veröffentlichung
- 5. Mai 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C4/06C22C21/00C23C4/08C23C14/00C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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