Precursor composition for porous film and method for forming porous film
WO2011052656
Art A1
5. Mai 2011
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011052656
- Aktenzeichen
- EP10826788
- Anmeldetag
- 27. Oktober 2010
- Veröffentlichung
- 5. Mai 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C08J9/26C08G77/50
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
1.137 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.