Pump unit, vacuum device, and exhaust device for load lock chamber

WO2011052675 Art A1 5. Mai 2011

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011052675
Aktenzeichen: EP10826807
Anmeldetag: 28. Oktober 2010
Veröffentlichung: 5. Mai 2011
Rechtsraum: WO
IPC: F04B37/16F04B37/14F04B49/06F04B49/10F04D19/04H01L21/205H02P29/00H02P29/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

Kein Vertreter erfasst.

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen